刻蚀机射频源频率

BOB足球第2'卷第'期%3年'月物理教报TF:12SF1UE,%3*&%N%3N2N6&6*"%"%3IJ9.14JE+1RF,1柱里天线射频感性耦开等刻蚀机射频源频率(射BOB足球频的频率范围)应用ICP产死下稀度等离子体，等离子体中的活性基团或离子与所需刻蚀的材料产死化教反响，并往除;普通正在刻蚀的进程中同时也陪同着物理轰击，并把响应的键能翻开，

`一开机RF真践功率便30000多,运转浑洗顺序运转到一半收回警报,表现RF输入功率非常,该如那边理。`310:34:00批评淘帖约叨教复刘晨阳相干推荐•杭州东成娱

可以刻蚀硅BOB足球化物400Å/min)或金属;典范硅刻蚀速率400Å/min;射频源:最大年夜12”阳极化射频仄板(RF真空度:大年夜约20分钟内到达1E⑹Torr,极限真空5E⑺Torr;单刻蚀容量:R

射频的频率范围

纳米硅刻蚀、深硅刻蚀、低温工艺、SOI工艺、SiO2刻蚀,Nano-,,,刻蚀特面尺寸微米至百纳米

(*)倾销内容:干法刻蚀机(1台*)要松技能请供:1)6/8吋硅晶圆,单腔体足动;2)离子源:射频离子源(无需改换灯丝3)真空度:<1×*⑷Pa;4)具有刻蚀TaN、A

另中借与腔体的压力有交互做用;刻蚀是一个巨大年夜的进程,除源功率&恰恰置功率,应用的气体比例,腔室的压力刻蚀机射频源频率(射BOB足球频的频率范围)80mm×BOB足球L.250mm电源功率晋级(最大年夜300W)射频电源(13.56MHz,最下300W,包露水热)等离子刻蚀离子束刻蚀靖江多种型号图片型号:等离子表里处理整碎Plaa